故障現(xiàn)象
設備在工作中出現(xiàn)曝光中斷,，并提示高壓嚴重出錯,。重啟機器后,，做曝光預熱過程中報錯：“General error message”,。
故障分析與排除
根據(jù)報錯，首先檢查高壓系統(tǒng),，
1）打開配電柜,，觀察有關高壓部分的空氣開關和保險絲都正常。
2）測量高壓陽極模塊（APM）和高壓陰極模塊（CPM）的數(shù)據(jù)都正常,，高壓曝光控制板（Rhost）的指示燈也正常,。
3）然后進入系統(tǒng)的調試模式，用低條件（80 kV,，20 mA）進行短時間曝光,。
4）查看實際的kV和mA值，發(fā)現(xiàn)kV值基本正常,，但是陽極和陰極的電流不相等,，陰極電流很小。
可以發(fā)現(xiàn)實際通過球管燈絲的電流幾乎為零,。取下球管陰極高壓插頭,，用萬用表測到燈絲變壓器阻值很小，球管燈絲阻值為無窮大,，基本可以認定是球管燈絲斷了,。
向廠家購買球管并進行更換（需注意更換球管時，連接球管正負極的兩根高壓電纜線,，這兩根高壓電纜線拆卸下來后需要用干凈的塑料袋子裝好,，防止有灰塵進入）。并在廠家工程師的指導下進行球管的順應性校準（tube adaptation）,。
現(xiàn)流程如下：
1）Grud Voltage Entry（電壓校正）
2）Filiament Calibration（燈絲校正）
3）Rotal Balance Test（旋轉平衡測試）
4）Long TC（球管長時間的曝光,，高條件訓練）
5）XRT Z-mechanical Calibration（球管Z軸方向機械調整，在此之前需要做眼模定位）
6）Plance Z-mechanical Calibration（前準直器Z軸方向機械校正）
7）XRT X-mechanical Calibration（球管X軸方向機械調整）
8）XRT FS Width Calibration（焦點寬度定標）
9）XRT DFS Position Calibration（動態(tài)焦點校正定位）
10）XRT SFS Position Calibration（靜態(tài)焦點校正定位）
11）Ultrahigh RES Comn Align Calibration（超高分辨力準直器校正）
12）AirCalibration（空氣校正）
13）Phantom Calibration（水模校正）
所有步驟完成后,，重啟機器,，球管預熱正常，能進行正常掃描操作,，故障排除,。
