故障現(xiàn)象
設(shè)備在工作中出現(xiàn)曝光中斷,，并提示高壓嚴(yán)重出錯(cuò)。重啟機(jī)器后,，做曝光預(yù)熱過(guò)程中報(bào)錯(cuò)：“General error message”,。
故障分析與排除
根據(jù)報(bào)錯(cuò)，首先檢查高壓系統(tǒng),，
1）打開配電柜,，觀察有關(guān)高壓部分的空氣開關(guān)和保險(xiǎn)絲都正常。
2）測(cè)量高壓陽(yáng)極模塊（APM）和高壓陰極模塊（CPM）的數(shù)據(jù)都正常,，高壓曝光控制板（Rhost）的指示燈也正常,。
3）然后進(jìn)入系統(tǒng)的調(diào)試模式，用低條件（80 kV,，20 mA）進(jìn)行短時(shí)間曝光,。
4）查看實(shí)際的kV和mA值，發(fā)現(xiàn)kV值基本正常,，但是陽(yáng)極和陰極的電流不相等,，陰極電流很小。
可以發(fā)現(xiàn)實(shí)際通過(guò)球管燈絲的電流幾乎為零,。取下球管陰極高壓插頭,，用萬(wàn)用表測(cè)到燈絲變壓器阻值很小，球管燈絲阻值為無(wú)窮大,，基本可以認(rèn)定是球管燈絲斷了,。
向廠家購(gòu)買球管并進(jìn)行更換（需注意更換球管時(shí)，連接球管正負(fù)極的兩根高壓電纜線,，這兩根高壓電纜線拆卸下來(lái)后需要用干凈的塑料袋子裝好,，防止有灰塵進(jìn)入）,。并在廠家工程師的指導(dǎo)下進(jìn)行球管的順應(yīng)性校準(zhǔn)（tube adaptation）。
現(xiàn)流程如下：
1）Grud Voltage Entry（電壓校正）
2）Filiament Calibration（燈絲校正）
3）Rotal Balance Test（旋轉(zhuǎn)平衡測(cè)試）
4）Long TC（球管長(zhǎng)時(shí)間的曝光,，高條件訓(xùn)練）
5）XRT Z-mechanical Calibration（球管Z軸方向機(jī)械調(diào)整,，在此之前需要做眼模定位）
6）Plance Z-mechanical Calibration（前準(zhǔn)直器Z軸方向機(jī)械校正）
7）XRT X-mechanical Calibration（球管X軸方向機(jī)械調(diào)整）
8）XRT FS Width Calibration（焦點(diǎn)寬度定標(biāo)）
9）XRT DFS Position Calibration（動(dòng)態(tài)焦點(diǎn)校正定位）
10）XRT SFS Position Calibration（靜態(tài)焦點(diǎn)校正定位）
11）Ultrahigh RES Comn Align Calibration（超高分辨力準(zhǔn)直器校正）
12）AirCalibration（空氣校正）
13）Phantom Calibration（水模校正）
所有步驟完成后，重啟機(jī)器,，球管預(yù)熱正常,，能進(jìn)行正常掃描操作，故障排除,。
